泰克Keithley 电容漏漏电流多路测试系统通过可编程直流电源对多路并联的电容产品进行充电，充电结束，通过高精度皮安表6485进行漏电流测试，然后通过数据采集器2700、单级控制模块7705进行多个产品通道切换，实现自动化，高精度测试，并将结果传到软件系统进行处理，实现数据自动记录保存。

　　Keithley (吉时利)电容漏电流多通道测试系统主要用于半导体器件、电子元件及材料的电气性能测试，其核心作用体现在以下方面：

　　●半导体器件测试

　　适用于 GaN 、 SiC 等新型功率半导体材料的参数测试，可实现高压(最高1100V)、高精度(6位分辨率)的电容和漏电流测量，支持单次测试完成高低压参数测试，大幅提升测试效率。 ‌

　　●漏电流检测

　　通过四象限操作(源/汇电流电压)直接测量器件漏电流，结合高灵敏度静电计技术，可检测微小漏电流变化(如 MOS器件 亚阈值漏电)，支持 ISO-17025校准 确保数据可靠性。 ‌

　　●多通道灵活配置

　　提供12种开关模块选择，支持200个差分输入通道(隔离电压300V)，允许同时测量多个器件参数，适用于晶片级测试(如 功率模块 的并行检测)，通道数可根据需求动态调整。 ‌

　　●自动化与兼容性

　　内置 KTE 7软件 支持系统级校准(含探头卡迁移路径)，兼容 SCPI脚本 编程，可快速集成至生产线自动化系统，降低操作复杂度。 ‌

　　该系统通过高精度电容测量(22位分辨率)与漏电流特性分析，为半导体工艺验证、可靠性评估及材料研发提供关键数据支撑。 ‌