泰克旗下子品牌吉时利Keithley4200A-SCS 是一个模块化、可定制、高度一体化的参数分析仪,可同时进行电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 电学测试。使用其可选的 4200A-CVIV 多通道开关模块,可轻松地在 I-V 和 C-V 测量之间切换,而无需重新布线或抬起探针。4200A-SCS 是最高性能的分析仪,可加快用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。
4200A‑SCS 是吉时利(Keithley)模块化全集成半导体参数分析仪,一站式完成直流 I‑V、C‑V 电容‑电压、超快脉冲 I‑V三大核心电学表征,大幅降低半导体器件测试门槛,把复杂器件特性分析化繁为简,广泛用于芯片研发、工艺开发、晶圆级可靠性测试、失效分析、新材料研究泰克。
为什么测试更简单
1.开箱即用,大幅缩短测试开发周期
配套 Clarius + 软件,内置450 + 套可直接修改的预制测试模板,覆盖 MOSFET、BJT、二极管、MEMS、存储器件、光伏电池等常用器件,无需从零编写测试脚本;从测试设置到输出结果时间最高可减少 50%系统内置多语言专家教学视频,新手也能快速上手,遇到异常测量可直接查阅测试指导,降低学习成本。
2.三合一同步测量,一套设备搞定主流表征
直流 I‑V:电流10 aA~1 A,电压0.2 µV~210 V,支持 pA 级微弱漏电到大电流器件测量,适合晶体管输出 / 转移曲线、二极管 IV、漏电测试、电阻率测试泰克。
C‑V 电容‑电压:测试频率 1 kHz‑10 MHz,±30 V 直流偏置,可测个位数飞法级微小电容,完成 MOS 电容、氧化层厚度、掺杂浓度提取、C‑f 测试泰克。
脉冲 I‑V:±40 V(峰峰值 80 V)、±800 mA,200 MSa/s,5 ns 采样率,用于抑制自热效应、NBTI/PBTI 可靠性退化、非易失存储器瞬态测试,不用外接示波器即可捕获瞬态波形电子工程世。
3.模块化灵活硬件,按需扩展
主机最多 9 个模块插槽,可自由选配 SMU 源测量单元、CVU 电容单元、PMU 超快脉冲单元;搭配CV‑IV 多开关模块、RPM 远程放大器,I‑V 与 C‑V 之间自动切换,无需重新插拔探针;RPM 靠近被测器件,降低线缆寄生电容,微弱电流测量更稳定;可对接探针台、温控平台,支持晶圆级全自动测试电子工程世。
4.自动化参数提取与数据分析
软件内置自动参数提取、绘图、数学运算功能,一键提取阈值电压、跨导、导通电阻、掺杂浓度等关键器件参数;支持测试序列管理,数据表格、曲线可视化,兼容自动化脚本,兼顾实验室手动调试与批量自动化测试场景泰克。
Keithley 4200A-SCS 参数分析仪的典型应用场景
MOSFET、BJT、二极管、PN 结、MOS 电容;III‑V 化合物半导体、MEMS 传感器;非易失性存储器;NBTI/PBTI 晶圆级可靠性测试;LED/OLED、光伏电池;纳米器件、新材料电学表征;芯片失效分析、工艺评估泰克。
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