针对PSD的主要噪声来源及特点,提出了自适应噪声抑制的方法来提高PSD的位置分辨率。自适应噪声抑制属于自适应信号处理,不需要预先知道干扰噪声的统计特性,能在逐次迭代的过程中将自身的工作状态自适应地调整到最佳。该方法需要两块位置敏感探测器PSD1和PSD2 PSD1需要接受入射光斑照射,而PSD2不需要光斑照射,专门用来检测噪声源。
PSD2的输出经过参数可调的数字滤波器后,再送到抵消器,与PSD1的输出信号相减。插入滤波器的目的就是要补偿两片PSD的噪声差异,以使滤波器的输出尽量逼近PSD1感应的噪声。图2中的数字滤波器为参数可调的滤波器,自适应噪声抵消的其他环节也都以数字方式实现,所以图2中各变量的时间自变量都以取样序列号k来表示。