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Keithley 晶体管测试系统

  • Keithley 晶体管测试系统
  • “系统采用Keithley高精度源表,配合强大的软件分析功能,可用来测定晶体管的共集电极、共基极、共发射极的输入特性、输出特性、转换特性、α、β参数特性;可测定各种反向饱和电流 ICBO、ICEO、IEB0和各种击穿电压 BUCBO、BUCEO、BUEBO等;还可以测定二极管、稳压管、可控硅、隧道二极管、场效应管及数字集成电路的特性,用途广泛。”

系统背景:
    功率半导体器件技术自新型功率MOS器件问世以来得到长足进展,已深入到工业生产与人民生活的各个方面,一些诸如SJ在内的新结构的研究,功率半导体技术正朝着高温,高频,低功耗,高功率容量方向发展,以SIC/GA为代表的第三代新材料功率半导体器件正在不断走向成熟。这些器件高功率半导体器件和组件的特性分析与测试对测试设备要求越来越高,需要高达数十安培的电流和数千伏的电压测量及更高的测试精度。
      传统图示仪在精度,量程,可靠性以及可生成曲线种类局限,无法编程控制,数据存储操作复杂等诸多因素,在电源的设计、来料检验及失效分析环节略显力不从心,在高效率精密电源的关键元器件选型和质量管控上更为捉襟见肘。
      由于TEK 的370B的停产,广州美达克科技有限公司基于Keithley高功率源表,配有多种高质量仪器、线缆、测试夹具和软件,可以替代370B的一体化解决方案,满足高压,大电流,高精度的测试要求,解决操作复杂,接线麻烦等一系列问题,使测试更简单,高效,可以高度定制。

系统说明:

           晶体管测试系统基于数字源表®源测量单元(SMU)和/或半导体特性分析仪器。这些仪器的动态范围和准确度比传统曲线跟踪仪高出若干数量级,满足当今功率半导体器件对高电压,大电流,高精度的要求。
为了实现这个性能,配合一系列高精密电缆,实现与吉时利8010型高功率器件测试夹具的连接。对于高电压通道,定制三轴电缆可以提供保护路径,支撑快速建立和极低电流,包括在3kV全高压情况下。对于高电流通道,专用低电感电缆可以提供更快的上升时间脉冲,实现器件自发热效应的最小化。安全、高效的测试夹具至关重要。8010型夹具可以提供互锁的屏蔽环境,支持低电流/高电压测试以及高电流/低电压测试。8010型夹具包括与高精度电缆匹配的高性能连接器以及保护电路,防止在器件故障情况下高压通道破坏基极/栅极通道。
      为了使测试更简单方便,配合专业的测试软件,可以配置包括特性分析工程师快速开发完整测试系统所需的一切。软件提供完整的器件特性分析,包括:曲线模式,用于测试IV曲线,提取器件参数。实时跟踪模式,用于对器件主要参数(如击穿电压)进行快速检测;组合模式,客户可以根据需要设置测试来回扫描次数,测试序列的间隔时间,可以帮助客户无需手动操作即可自动长时间测试器件,以达到对器件的可靠性寿命测试,4个窗口同时显示曲线可以帮助客户进行曲线参数对比。更重要的是,用户可以对全部测试源进行完全控制,使他们能够创建前所未有的更先进测试。


测试系统特点: 

      - 测量动态范围宽:电压从uA到3KV,电流从fA到50A
- 高精度,电流分辨率达到fA级
- 具有曲线模式,跟踪模式,组合模式,可以进行IV曲线多次测试,来回扫描测试,器件参数提取,失效分析,可靠性分析等
- 配置简单,一体化设计,仪器设定由上位机软件完成
- 友好操作的人机界面,软件可实现高度定制

 测试参数汇总

       1.针对MOS管器件的参数:

      

       2.针对BJT的测试参数:

      

       3.测试IGBT的参数范围:

       

      选型指南: